ZEM20臺(tái)式掃描電鏡采用更加寬泛的加速電壓，1KV步進(jìn)，最高放大 36 萬倍，分辨率可達(dá)5nm。樣品臺(tái)減速模式下，弱導(dǎo)電樣品無需噴金也能實(shí)時(shí)觀察。超大樣品倉可集成多種原位拓展平臺(tái)，滿足不同實(shí)驗(yàn)及檢測(cè)需求。
ZEM20臺(tái)式掃描電鏡采用更加寬泛的加速電壓，1KV步進(jìn)，最高放大 36 萬倍，分辨率可達(dá)5nm。樣品臺(tái)減速模式下，弱導(dǎo)電樣品無需噴金也能實(shí)時(shí)觀察。超大樣品倉可集成多種原位拓展平臺(tái)，滿足不同實(shí)驗(yàn)及檢測(cè)需求。
▲真空分隔技術(shù) ：采用獨(dú)特真空設(shè)計(jì)，電子槍和樣品倉真空分離，換樣時(shí)間小于1min。
▲ 超大樣品倉：提供了更大的樣品存儲(chǔ)空間，方便用戶操作。
▲ 超高分辨率：極限放大倍數(shù)達(dá)到36萬倍，分辨率4nm@20kV。
▲ 標(biāo)配減速模式：允許弱導(dǎo)電樣品在不噴金的情況下進(jìn)行觀察。
▲ 倉內(nèi)攝像頭：樣品倉內(nèi)置高清攝像頭，原位實(shí)驗(yàn)時(shí)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品原位變化
| 環(huán)境要求 | AC220V，50Hz，1kW，無需減震臺(tái) |
| 加速電壓 | 3kV~20kV連續(xù)可調(diào)，1kV步進(jìn) |
| 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲，一體式聚光鏡，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)物鏡光闌，可選配LaB6燈絲 |
| 放大倍數(shù) | 25~360000倍 |
| 分辨率 | 5nm |
| 探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器、四分割背散射電子探測(cè)器、集成式能譜儀(選配) |
| 樣品臺(tái) | 三軸:X:60mm,Y:60mm，T:+45 五軸(選配):X:90mm,Y:50mm,Z:25mm,R:360°,T:-10-90° |
| 超大樣品艙 | 長(zhǎng)185mm*寬176mm*高125mm |
| 真空模式 | 高真空模式:換樣時(shí)間30s;低真空模式(選配):1-60Pa自動(dòng)控制 |
| 成像模式 | 視頻模式：512x512像素，無需小窗口掃描 快掃模式：512x512像素 慢掃模式：2048x2048像素 圖像格式：BMP，TIFF，JIPEG，PNG |
| 導(dǎo)航功能 | 光學(xué)相機(jī)導(dǎo)航，艙內(nèi)攝像頭，可實(shí)時(shí)觀察樣品艙內(nèi)情況 |
| 自動(dòng)功能 | 一鍵自動(dòng)配置亮度、對(duì)比度、自動(dòng)聚焦等 |
| 尺寸 | 主機(jī):650x370x642(mm) |
| 擴(kuò)展功能 | 兼容多種原位功能樣品臺(tái)(TEC冷臺(tái)、加熱臺(tái)、拉伸臺(tái)等) |
熱門關(guān)注
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