全自動(dòng)臺(tái)階儀

產(chǎn)品介紹

全自動(dòng)臺(tái)階儀JS2000B擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。全自動(dòng)臺(tái)階儀JS2000B提供兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品和針尖同時(shí)成像，可無(wú)畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)

量測(cè)精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計(jì)、售后便捷、極高性價(jià)比

產(chǎn)品應(yīng)用

▲刻蝕、沉積和薄膜等厚度測(cè)量

▲薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測(cè)量

▲各式薄膜等應(yīng)力測(cè)量

▲3D掃描成像

▲計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

▲批量測(cè)試晶圓，批量處理數(shù)據(jù)等

配件

▲高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

▲FFU模塊

▲靜電消除模塊

▲E84接口

技術(shù)參數(shù)