為什么要在老化時進行測試
在老化階段進行半導(dǎo)體測試之所以有意義有多種原因,在探討這些原因之前,我們首先要明確“測試”的真正含義。一般半導(dǎo)體測試要用到昂貴的高速自動測試設(shè)備,在一個電性能條件可調(diào)的測試臺上對半導(dǎo)體作測試。它還可以在標(biāo)稱性能范圍之外進行,完成功能( 邏輯) 和參數(shù)( 速度) 方面的測試,像信號升降時間之類的參數(shù)可精確到皮秒級。也許是因為可控測試環(huán)境只有一個器件作為電性負載,所以信號轉(zhuǎn)換很快,能夠進行真實的器件響應(yīng)參數(shù)測量。
但在老化的時候,為提高產(chǎn)品的產(chǎn)量較好是能夠同時對盡可能多的器件作老化。為滿足這一要求,可把多個器件裝在一個大的印刷線路板上,這個板稱為老化板,它上面的所有器件都并聯(lián)在一起。大型老化板的物理電氣特性不能和只測試一個器件的小測試臺相比,因為老化板上的容性和感性負載會給速度測試帶來麻煩。所以我們通常無法用老化進行所有功能測試。不過在某些情況下,運用特殊的系統(tǒng)設(shè)計技術(shù)在老化環(huán)境下進行速度測試也是可能的。
老化系統(tǒng)中的“測試”可以指任何方面,從對每一器件每一管腳進行基本信號測試,到對老化板上的所有器件作幾乎100% 功能測試,這一切均視器件復(fù)雜性及所選用的老化測試系統(tǒng)而定??梢哉f對任何器件進行100% 功能測試都是可以做得到的,但是這樣采用的方法可能會減少老化板上的器件密度,從而增加整體成本并降低產(chǎn)量。
在老化中進行測試的好處有:
1 . 將耗時的功能測試移到老化中可以節(jié)約昂貴的高速測試儀器的時間。如果老化后只進行參數(shù)測試及很少的功能測試,那么用現(xiàn)有設(shè)備可測試更多器件,僅此一點即可抵消因采用老化測試方案而發(fā)生的費用。
2 .達到預(yù)期故障率的實際老化時間相對更短。過去器件進行首批老化時都要先藉由168 小時,這是人們期望發(fā)現(xiàn)所有早期故障的標(biāo)準(zhǔn)起始時間,而這完全是因為手頭沒有新器件數(shù)據(jù)所致。在隨后的半年期間,這個時間會不斷縮短,直到用實驗和誤差分析方法得到實際所需的老化時間為止。在老化同時進行測試則可以藉由檢查老化系統(tǒng)生成的實時記錄及時發(fā)現(xiàn)產(chǎn)生的故障。盡快掌握老化時間可提高產(chǎn)量,降低器件成本。
3 .及時對生產(chǎn)制程作出反饋。器件故障有時直接對應(yīng)于某個制造制程或者某生產(chǎn)設(shè)備,在故障發(fā)生時及時了解信息可立刻解決可能存在的制程缺陷,避免制造出大量不合格產(chǎn)品。
4 .確保老化的運行情況與期望相符。藉由監(jiān)測老化板上的每個器件,可在老化一開始時就先更換已經(jīng)壞了的器件,這樣使用者可確保老化板和老化系統(tǒng)按預(yù)先設(shè)想的狀況運行,沒有產(chǎn)能上的浪費。
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